WaveMaster® UST

WaveMaster USTはユニバーサルステッパー向けの波面収差測定装置です。TRIOPTICSの様々な測定装置の開発における経験と専門的なシャックハルトマン波面測定技術を組み合わせています。 その結果、複数の波長のバイテレセントリックレンズの全視野を自動的に測定するシステムを実現しました。最大 70 x 45mm²のフィールドサイズまで測定できます。