WaveMaster® Compact 2
WaveMaster は、球面・非球面レンズを対象とした透過波面収差測定装置です。収差補正された良好な結像光学系から収差の大きな単レンズまでも高速・高精度にて透過波面を評価できます。 ゼルニケ収差、2D/3D WaveFront, -Fringe -Phase, Comparison, リアルタイム- チルト, - ディフォーカス調整など各種解析が可能です。 サンプルホルダには5 軸調整機構とチルト調整用オートコリメータが付いております。
Wave Front Sensor
Spot 数 134x134(15mm 角)
分光感度 365 nm -1064 nm
リアルタイム測定 >5Hz
測定精度 RMS <λ/20
繰返精度 RMS <λ/200
最大測定範囲 ～ 2000λ
測定有効径 0.5 mm ... 14 mm
Light Source to Imaging Optics
光源（標準）635nm LD
高精度コリメーションφ10mm
Reverse Infinity Conjugate
倍率調整, 高NA 対物レンズ
オートフォーカス（像側）
オートフォーカス（コンフォーカル）
X,Y,Tilt2 軸調整
Software Live Display
Wave Front Mapping2D/3D
PV, RMS, Intensity, Slope, fringes, phase
Tilt and defocus - Live Correction
Zernike Coefficient [Born＆Wolf or ISO]
Absolute, relative, Fitting, Residual WF
MTF, PSF, Strehl Ratio‥(option)
Complete Measurement Report .pdf
ソフトウェアはNull測定が不要、WFSの集光点像分布「SLOPE」
測定結果（例）
100λを超えるディフォーカス量も簡単に評価できます。
Cross section, 2D, 3D Live PV, RMS「ツェルニケ多項式 ～ 121 項 - Born and Wolf / ISO」
ツェルニケ 数値データ、グラフィックアウトプット、PDF 形式測定結果
報告書作成
レンズ加工痕と思われる欠陥の検出
ゼルニケフィッティングができない残差成分（Residual）の情報は欠陥や回折レンズの回折パターンもビジュアル化をすることができます。
