OptoFlat™
平面形状測定用 低コヒーレンス干渉計
InterOptics社の干渉計は、低コヒーレンス干渉原理を使用し、平面形状を簡単に測定することが可能です。小型かつ安定した機械設計でありながら、従来の干渉計と比較して低価格になっています。
■低コヒーレンス干渉原理の特徴
●裏面反射の低減
レーザー干渉計では、平行平面サンプルの測定において、表面の反射波面に、裏面の反射波面が影響し、測定が困難なケースがありますが、低コヒーレンス干渉原理では、短い領域でコヒーレンスを制限することにより、裏面からの干渉の抑制が可能になり、表面のみからの干渉縞が生成されます。
●高出力LED光源
高出力LED光源で使用することにより、きれいな干渉縞を生成し、サブナノメートルレベルの位相測定を行うことができます。また、LEDテクノロジーは、レーザーの安全性の問題を排除し、長時間にわたって高い信頼性を提供します。LEDからの拡張光源は、ほこりや傷による回折によるコヒーレントノイズを低減します。
●平坦度(Flatness)、面粗さ(Waviness)の測定
平坦度の測定結果
面粗さの測定結果
＜OptoFlatとフィゾー干渉計の干渉縞の比較＞
▲フィゾー干渉計
▲OptoFlat
■測定対象物
ガラス、各種コーティング、アルミコート、回折格子など
■主な仕様
●測定精度: 1/20λ
●RMS 精度（Short-term): < 0.1nm
●RMS 繰返精度（Short-term): < 0.03nm
●RMS精度（Long-term): < 0.2nm
●RMS繰返精度（Long-term): < 0.1nm
●分解能 1200 x 1200 pixels (1x)、1920 x 1200 pixels(4x)
●測定時間: < 1 sec (単発測定）
測定結果の複数表示
