OptiCentric® UltraPrecision
大口径レンズ用面間偏芯測定装置
▲エアーベアリングΦ600
OptiCentric® UltraPrecisionは、ステッパーや大口径光学系に対応した高精度面間偏芯測定装置です。
専用グラナイト定盤、グラナイト支柱、高精度エアーベアリングの構成により、優れた安定性と耐熱性、スムーズな動き、無類の精度を実現しました。また、OptiCentricシリーズ同様、ユーザ仕様にあわせて、様々なオプションの追加・カスタマイズが可能です。
▲エアーベアリングΦ300
<標準仕様>
●測定内容
透過偏芯、反射偏芯、ディセンタ、面間偏芯、曲率半径、等
●測定範囲
EFL / R ±2 (オプション最小0.2)~750mm(オプション最大2000mm)
●測定精度
分解能0.01μm 絶対精度< 0.2μm 繰返精度<0.1μm( 標準偏差)
●回転テーブル
エアーベアリング回転テーブルAB300~800 (離芯誤差 <0.05μm,)
●測定対象
被検レンズ外径φ5~900mm、高さ1000~1500mm、重さ450~1200kg
●搭載可能オプション
OptiSurf:レンズ中心厚・面間隔測定
OptiSpheric:レンズ定数測定(EFL,BFL,ne,MTF,etc)
AspheroCheck:非球面軸測定(非接触)
Cementing:調心接合(レンズとレンズの貼りあわせ)
Bonding:調心接合(レンズとホルダの接合)