OptiSurf®
中心厚・面間隔測定装置(通常タイプ/高精度タイプ/IRタイプ)
OptiSurfは、組レンズ内のレンズ個々の中心厚及びレンズ間の空気間隔を低コヒーレンス干渉計計測原理を用いて、非接触で測定します。
通常タイプの他に、高精度タイプ(OptiSurf UltraPrecision)や赤外レンズを対象としたIRタイプ(OptiSurf IR)があります。
<測定範囲>
200mm(OptionでMax800mm、OptiSurf IRはOptionで
Max400mm)
測定精度 <1μm(OptiSurf) <0.15μm(OptiSurf UltraPrecision)
<5μm(OptiSurf IR)
<測定時間>
高速ラインスキャン Scan 200mm=15秒以下